NC接合モジュール用プロセス監視システムmaXYmos NC / 5847B0

maXYmos NC 工程監視システムは、NC 接合モジュールおよび関連サーボアンプ IndraDrive と組み合わせて、接合および圧入プロセス用の 2 つの測定基準 XY の特性を制御、監視、評価、記録します。測定結果の統計およびプロトコル（Q-DAS、CSV、PDF、XML、IPM 5.0、QDA9、QWX）が利用できます。