Melhoria da produção de semicondutores

Soluções de medição da Kistler para o fabrico de semicondutores

através da medição dinâmica de força, pressão e aceleração

A produção de semicondutores está a tornar-se cada vez mais complexa à medida que a miniaturização avança e são introduzidos novos materiais e tecnologias de montagem e embalagem.

Que desafios enfrenta a produção de semicondutores?

A miniaturização aumenta a sensibilidade

As geometrias mais pequenas aumentam a suscetibilidade ao esforço mecânico e às microvibrações que permanecem invisíveis para as ferramentas de inspeção padrão.

A embalagem 3D aumenta a complexidade

As técnicas avançadas de embalagem e empilhamento de chips introduzem cargas mecânicas multieixos que os sensores estáticos não conseguem caracterizar.

Os eventos de tensão ocorrem na escala de milissegundos

Os eventos mecânicos críticos para a resistência ocorrem em milésimos de segundo, o que está muito abaixo da taxa de captura da inspeção convencional.

A inspeção no final da linha deteta demasiado tarde

A inspeção ótica e elétrica deteta frequentemente defeitos depois de o valor já ter sido acrescentado — o desperdício é inevitável.

Como as soluções de medição da Kistler resolvem os desafios na produção de semicondutores

As medições dinâmicas de força, pressão e aceleração são fundamentais, uma vez que muitos eventos de tensão mecânica relevantes para o rendimento ocorrem em milésimos de segundo e não podem ser detetados por métodos de inspeção estáticos ou de fim de linha. A tecnologia de medição piezoelétrica garante a monitorização e o controlo de alta resolução de — por mais pequenos que sejam.

Ao tornar a dinâmica física visível em tempo real, a Kistler permite que os fabricantes de semicondutores:

Maior rendimento, menos rejeitos

Os desvios do processo em linha são detetados antes de se propagarem — protegendo a qualidade do produto em cada etapa.

Controlo de força descendente em circuito fechado

O feedback de força em tempo real permite a correção ativa do processo com uma resolução de microssegundos, para tolerâncias mais rigorosas.

Qualificação mais rápida das ferramentas

A total transparência do processo reduz o tempo de rampa para novas ferramentas, nós e processos avançados de embalagem.

Detecção de microvibrações

Os acelerómetros de alta frequência captam as vibrações induzidas pela máquina que prejudicam a resistência da ligação e a litografia.

Rastreabilidade total do produto

Cada evento do processo é marcado com data e hora e associado a unidades individuais, garantindo a rastreabilidade completa do lote e a preparação para auditorias.

Funcionamento estável a longo prazo

A tecnologia piezoelétrica mantém a estabilidade da calibração em ciclos térmicos, vácuo e ambientes de sala limpa.

 

Casos de utilização selecionados para a otimização do rendimento e da qualidade na produção de semicondutores

Saiba como a Kistler apoia os fabricantes de semicondutores a superar os desafios de produção atuais.

 

A Kistler apoia toda a cadeia de fabrico de semicondutores

Desde a fabricação de wafers até ao teste final, a Kistler fornece uma cadeia de medição para cada fase crítica.

Gama de sensores

Condicionamento de sinal e aquisição de dados

Movimento linear controlado forçado

Inspeção por visão

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