Пьезорезистивный датчик давления

Что такое пьезорезистивный датчик давления?

В пьезорезистивных датчиках давления в качестве измерительного элемента используется мост Уитстона на кремниевой основе. Он минимально расширяется под действием давления и таким способом меняет электрическое сопротивление. Этот эффект часто называют пьезорезистивным эффектом.

What are piezoresistive pressure sensors used for?

Пьезорезистивные датчики давления работают преимущественно без дрейфа и поэтому особенно часто применяются для измерения статического давления.

Как работает пьезорезистивный датчик давления?

Определяемое давление измеряется кремниевым чипом через мембрану и несжимаемое силиконовое масло. Питание чипа производится через ввод из изоляционного стекла и соединительные провода. Выходной сигнал давления измеряется в мВ. Затем сигнал давления компенсируется температурой и усиливается до соответствующего выходного сигнала в В или мА.

Какие существуют типы пьезорезистивных датчиков давления?

Пьезорезистивные датчики давления проводят измерение относительно разных точек нуля (абсолютное относительно вакуума, относительное к давлению окружающей среды и дифференциальное относительно другого давления), в зависимости от типа датчика. В зависимости от варианта применения могут использоваться датчики абсолютного, относительного (избыточного) и дифференциального давления. Следующий обзор показывает разницу конфигураций соответствующих типов датчиков давления.

Контакты
(max 25 Mb)