압전 저항형 압력 센서(piezoresistive pressure sensor)

압전 저항형 압력 센서란?

압전 저항 압력 센서에서 측정 요소는 실리콘 기반 휘트스톤 브리지(Wheatstone-Bridge) 회로입니다. 실리콘 소자는 압력의 변화에 따라 전기 저항을 변화시키고 휘스트톤 브리지 회로의 전압의 차를 만듭니다. 이러한 효과를 일반적으로 압전 저항 효과라고 합니다.

압전 저항형 압력 센서의 용도는?

압전 저항형 압력 센서는 대부분 드리프트가 없으므로 정압 측정을 위한 첫 번째 선택입니다.

압전 저항형 압력 센서는 어떻게 작동하나요?

가해진 압력은 멤브레인과 비압축성 실리콘 오일을 통해 실리콘 칩에 의해 감지됩니다. 칩은 절연 유리 피드스루 및 본딩 와이어를 통해 전원이 공급됩니다. 압력 신호 출력 단위는 mV입니다. 또한 압력 신호는 온도 보상이 되며 선택된 V 또는 mA 출력 신호로 증폭됩니다.

압전 저항형 압력 센서 타입은 어떤 것이 있나요?

압전 저항형 압력 센서는 센서 타입에 따라 서로 다른 기준(절대압, 게이지압, 차압)으로 측정합니다. 응용 분야에 따라 절대압, 상대(게이지)압 또는 차압 센서가 적합할 수 있습니다. 다음 개요는 해당 압력 센서 타입의 다양한 구성을 보여줍니다.

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