キスラーの半導体アプリケーション向けソリューション

半導体製造には数多くの工程が含まれます。そのため、キスラーはさまざまなアプリケーションとお客様の要件に合わせた多様な機能のソリューションをご用意しています。

総合的な力測定および力制御

力の測定データは、ウエハ処理や接着工程などで調整と制御に使用されます。正確に一定の力をかけられれば、確実に損傷を防止できます。キスラーの測定技術は半導体製造ラインに組み込まれ、プロセス最適化とトレーサビリティを実現します。

継続的な監視

多くの半導体アプリケーションには継続的な監視と検査が必要ですが、連続的な制御は必要ありません。設定値を外れた場合にプロセスを停止すれば十分です。力測定に基づく総合的なプロセス監視により正確な測定データが得られるため、ユーザーは障害の原因を特定し、プロセスを最適化することができます。

定期的な校正

この費用対効果の高い力測定では、校正キットを使用します。校正キットは、多数の同じ機械に使用できます。この手法は、半導体アプリケーションにおいて連続測定が不要で、機械軸の力の値が定期的に確認されている場合に最適です。

キスラーの品質保証

ご使用の機械や半導体製造ライン全体の品質をさらに高いレベルに引き上げましょう。キスラーの経験豊富な技術者が、プロジェクト全体にわたり、お客様にアドバイスとサポートを提供いたします。 どうぞお気軽にお問い合わせください。