ピエゾレジスティブ圧力センサ(半導体圧力センサ)

ピエゾ抵抗圧力センサ(piezoresistive pressure sensor)とは

ピエゾ抵抗圧力センサの測定素子は、シリコンベースのホイートストンブリッジ回路です。ここに圧力がかかると電気抵抗が変化します。この効果は一般にピエゾ抵抗効果と呼ばれます。

ピエゾ抵抗圧力センサの使用用途

ピエゾ抵抗圧力センサはほとんどドリフトがないため、主に静的圧力の測定に使用されます。

ピエゾ抵抗圧力センサの仕組み

測定圧力は、ダイヤフラムと非圧縮性シリコンオイルを介してシリコンチップにより感知されます。このチップには、絶縁ガラスフィードスルーとボンディングワイヤを介して電力が供給されます。圧力信号出力はmVです。その出力は、温度補償され、かつ増幅されて、VまたはmAに変換されます。

ピエゾ抵抗圧力センサのタイプ

ピエゾ抵抗圧力センサはそのタイプに応じて様々なゼロ点(絶対真空、大気圧、またはその他の基準圧力)に対する測定を行います。絶対圧力センサ、相対(ゲージ)圧力センサ、または差圧センサのいずれが適しているかは、用途に応じて異なります。圧力センサのタイプ別の構成については、以下の概要にまとめられています。

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