Halbleiter-Messketten auf Basis dynamischer Kraftmesstechnik

Nebst Messtechnik gestützt auf jahrzehntelange Erfahrung bietet sich Kunden von Kistler ein entscheidender Vorteil: die gesamte Halbleiter-Messkette aus einer Hand. Unser Portfolio beinhaltet alles von hochmoderner Sensorik und fortschrittlichen Datenerfassungseinheiten bis hin zu Hardware und Software für die präzise Datenanalyse und Visualisierung der Messresultate. Im Folgenden drei Beispiele für Messketten mit dynamischer Kraftmesstechnik. Alle dazugehörigen Komponenten sind bei Kistler aus einer Hand erhältlich.

Beispiel: Messkette mit einem industriellen Ladungsverstärker von Kistler zur Prozessregelung in der Halbleiterproduktion.

Der piezoelektrische Sensor misst die Kraft. Der industrielle Ladungsverstärker wandelt die Ladung in ein elektrisches Signal um, das der gemessenen Prozesskraft entspricht. Schließlich wird das Signal an die speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) oder den industriellen PC am Ende der Messkette übermittelt.

Die Vorteile der Halbleiter-Messkette:

Prozessregelung: präziser geschlossener Regelkreis

Prozessüberwachung: direktere Korrelation mit den Produktqualitäts-Parametern

Prozessverfolgbarkeit: Daten als Basis für Dokumentation und Prozessoptimierung

Beispiel einer Messkette, die ein Prozessüberwachungssystem von Kistler für die Überprüfung und Evaluation der Halbleiterproduktion verwendet

Der piezoelektrische Sensor misst die Kraft. Dank dem Prozessüberwachungssystem maXYmos können Nutzer die Qualität jedes einzelnen Produktionsschritts mithilfe einer Kraft-Zeit- oder Kraft-Weg-Kurve prüfen und evaluieren. Der Hauptvorteil dieser Messkette: Jeder Produktionsschritt kann geprüft und visualisiert werden, um festzustellen, ob ein Teil gut oder schlecht ist.

Die Vorteile der Messkette:

Prozessregelung: präziser geschlossener Regelkreis

Prozessüberwachung: direktere Korrelation mit den Produktqualitäts-Parametern

Prozessverfolgbarkeit: Daten als Basis für Dokumentation und Prozessoptimierung

Beispiel einer Messkette, die einen für R&D-Aufgaben in der Halbleiterindustrie idealen Ladungsverstärker von Kistler verwendet

In dieser Messkette wird die Kraft durch einen piezoelektrischen Sensor gemessen. Ein Labor-Ladungsverstärker wandelt dann das Ladungssignal des Sensors in eine entsprechende Ausgangsspannung um. Der Labor-Ladungsverstärker verfügt über einen extrem breiten Ladungs- und Frequenzbereich sowie ein herausragendes Rauschverhalten – die ideale Messkette für R&D-Aufgaben.

Die Vorteile der Messkette:

Prozessregelung: präziser geschlossener Regelkreis

Prozessüberwachung: direktere Korrelation mit den Produktqualitäts-Parametern

Prozessverfolgbarkeit: Daten als Basis für Dokumentation und Prozessoptimierung

Unsere Experten beraten Sie gerne über spezifische Anwendungen oder schlagen Ihnen die optimalen Produkte für Ihre Messkette vor.

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