Industrial solutions to monitor production quality within semiconductor manufacturing processes.

Dynamische Kraftmesstechnik: Neue Herausforderungen in der Halbleiterfertigung bewältigen

Fortschritte in der Halbleiterfertigung lösen eine exponentielle Erhöhung der Gerätekomplexität aus. Die Hersteller von heute müssen sich auf eine effiziente Prozessüberwachung verlassen können, konventionelle Messmethoden allein garantieren jedoch das Erreichen der geforderten Qualitätsstandards nicht mehr. Deshalb werden Kraftmessungen sowohl bei Front-end- als auch bei Back-end-Produktionsprozessen zum kritischen Faktor.

Die piezoelektrische Messtechnik von Kistler garantiert Überwachung mit hoher Auflösung und Kontrolle über die angelegten Kräfte in der Halbleiterfertigung – egal, wie klein diese sind. Konventionelle Messtechnik ist nicht dazu in der Lage, Kraft als physische Menge zu erfassen, die zum Geräteausfall führen kann. Piezobasierte Kraftmessungen hingegen machen „das Unsichtbare sichtbar“.

Die auf dynamischen Kraftmessungen basierende Prozesstransparenz bringt eindrückliche Vorteile für die Halbleiterfertigung mit sich:

  • Früherkennung von Abweichungen in der mechanischen Belastung
  • Präzise Anpresskraft mit voller Kontrolle über den Regelkreis 
  • Produktverfolgbarkeit und Prozessoptimierung
  • Gesteigerte Maschinenleistung
  • Reduzierte Qualitätskosten  .

Die Prozessüberwachung mit Kraftmesstechnik bietet echten Mehrwert für die Halbleiterfertigung. Das Unsichtbare sichtbar zu machen ist wesentlich dafür, die Herausforderungen der Welt von morgen zu meistern.

Measurement technology from Kistler enables the optimization of semiconductors' production quality.
Halbleiterfertigung mit integrierter Messtechnik überwachen

Messtechnik von Kistler ermöglicht die Optimierung der Produktionsqualität bei Halbleitern.

Kistler offers the right measurement technology for every application in semiconductor technology
Lösungen zur Überwachung und Steuerung in der Halbleiterfertigung

Kistler bietet die passende Messtechnik für jede Anwendung im Bereich der Halbleitertechnologie.

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22.09.2021
Werkzeuginnendruck- und Temperatursensoren, Prozessüberwachungssystem ComoNeo 4.1 und neuer Miniatursensor für den Heißkanal.
14.09.2021
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