Nos sensores de pressão piezoresistivos, o elemento de medição é uma ponte de Wheatstone à base de silício. Sob pressão, sofre uma extensão mínima, alterando assim a resistência elétrica. Este efeito é habitualmente designado por efeito piezoresistivo.
Os sensores de pressão piezoresistivos praticamente não apresentam deriva e são, por isso, a primeira escolha para a medição de pressões estáticas.
A pressão a medir é detetada pelo chip de silício através de uma membrana e de óleo de silicone incompressível. O chip é alimentado através de uma passagem de vidro isolante e de fios de ligação (bonding). O sinal de pressão à saída é dado em mV. O sinal de pressão é depois compensado em temperatura e amplificado para um sinal de saída correspondente em V ou mA.
Os sensores de pressão piezoresistivos medem em relação a diferentes pontos zero (absoluta em relação ao vácuo, relativa em relação à pressão ambiente e diferencial em relação a outra pressão), consoante o tipo de sensor. Dependendo da aplicação, podem ser adequados sensores de pressão absoluta, relativa (gage) ou diferencial. A seguinte visão geral mostra as diferentes configurações do respetivo tipo de sensor de pressão.
