Medição de força para produção de semicondutores

A produção de semicondutores é cada vez mais complexa e desafiante. Os fabricantes de hoje devem confiar na monitorização eficiente dos processos, mas os métodos de medição convencionais por si só já não conseguem garantir os padrões de qualidade exigidos.

É por isso que a medição da força surge como um fator crucial em muitos processos de produção front-end e back-end: moagem, corte, polimento, CMP, manuseamento de wafers, classificação, ligação por fios, flip-chip, moldagem e encapsulamento, manuseamento pick and place, testagem e muito mais.

A tecnologia de medição piezoelétrica da Kistler garante a monitoração e o controlo de alta resolução das forças aplicadas durante os processos de produção de semicondutores — independentemente do seu tamanho. 

A metrologia convencional pode ser incapaz de aceder à força, como medida física que pode causar falhas no dispositivo. Mas a medição de força à base piezoelétrica “torna o invisível visível”.

A visibilidade do processo com base na tecnologia de medição dinâmica da força proporciona vantagens impressionantes para a indústria de produção de semicondutores:

• Identificação precoce de desvios mecânicos provocados por tensões;
• Precisão da força descendente com controlo em circuito fechado;
• Rastreabilidade do produto e otimização do processo;
• Melhoria do desempenho da máquina;
• Redução dos custos de qualidade.

Além da tecnologia de medição apoiada por décadas de experiência, os clientes da Kistler desfrutam de uma vantagem determinante: uma só fonte para toda a cadeia de medição. O nosso portefólio inclui tudo, desde a mais moderna tecnologia de sensores e unidades avançadas de aquisição de dados até ao hardware e software para análise precisa dos dados e visualização dos resultados das medições. Seguem-se três exemplos de cadeias de medição com tecnologia de medição dinâmica de força - e todos os componentes estão disponíveis na Kistler, a loja completa.

O sensor piezoelétrico mede a força. O amplificador de carga industrial converte então a carga num sinal elétrico equivalente à força de processo medida. Finalmente, o sinal é transmitido para o controlador lógico programável (PLC) ou PC industrial, no final da cadeia de medição.

Vantagens da cadeia de medição

• Controlo do processo: controlo preciso em circuito fechado;
• Monitorização do processo: correlação mais direta com os parâmetros de qualidade do produto;
• Rastreabilidade do processo: dados como base para a documentação e otimização do processo.

O sensor piezoelétrico mede a força. Graças ao sistema de monitorização de processos, maXYmos, os utilizadores podem verificar e avaliar a qualidade de cada etapa individual da produção com a ajuda de uma curva de força/tempo ou de deslocamento. A principal vantagem desta cadeia de medição? Cada etapa de produção pode ser verificada e visualizada para determinar se a peça é boa ou má.

Vantagens da cadeia de medição

• Controlo do processo: controlo preciso em circuito fechado;
• Monitorização do processo: correlação mais direta com os parâmetros de qualidade do produto;
• Rastreabilidade do processo: dados como base para a documentação e otimização do processo.

Nesta cadeia de medição, a força é medida por um sensor piezoelétrico e um amplificador de carga de laboratório; depois, o sinal de carga do sensor é convertido numa tensão de saída proporcional. O amplificador de carga de laboratório apresenta uma gama de cargas e frequências extremamente ampla, além de um excelente desempenho em termos de ruído, o que faz desta cadeia de medição a escolha ideal para a realização de tarefas de Investigação e Desenvolvimento.

Vantagens da cadeia de medição

• Controlo do processo: controlo preciso em circuito fechado;
• Monitorização do processo: correlação mais direta com os parâmetros de qualidade do produto;
• Rastreabilidade do processo: dados como base para a documentação e otimização do processo.

Os nossos especialistas terão todo o prazer em aconselhá-lo a respeito de qualquer aplicação específica ou sugerir a melhor escolha de produtos para a sua cadeia de medição.