奇石乐压电传感器，助力半导体制造提升效率与良率

半导体在智能手机、计算机等半导体在智能手机、计算机等日常设备中不可或缺，同时也广泛应用于汽车、医疗科技等众多行业。作为数字化与电气化进程的核心要素，半导体制造必须满足不断提升的微型化需求，并应对新材料、新工艺的应用挑战。为维持并提高良率与质量，制造商需依赖严格的过程控制。由于力是生产过程中的关键物理量，因此利用压电测量技术进行实时动态力测量，是实现生产效率提升的关键所在。

不同类型的半导体产品有着迥异的研发需求：例如智能手机所用的 AI 芯片需兼顾极致小巧与强大性能，而汽车功率半导体则需要在极端温度下能长期稳定运行。但无论用途如何，受微型化趋势、新材料应用及工艺迭代的影响，半导体的生产难度都在日益增加。

机械应力是影响良率的重要因素之一。在半导体制造的研磨、切割、化学机械抛光（CMP）、键合、搬运及测试等环节中，机械应力可能导致晶圆或芯片产生微裂纹等微观缺陷。事实证明，搭载压电传感器的动态力测量技术，是控制机械应力的核心手段。通过力的测量，半导体制造商能实现工艺优化，最大限度降低干扰因素的影响，在不牺牲芯片性能与功率的前提下提升生产效率 —— 例如键合工艺就需要对力、温度和位移进行精准控制。

Quartz crystals that generate an electrical charge in response to a mechanical load are the basis of piezoelectric sensors
Quartz crystals that generate an electrical charge in response to a mechanical load are the basis of piezoelectric sensors
All units of the piezoelectric measuring chain for semiconductor manufacturing are available from a single source at Kistler.
Dynamic force measurement helps to keep up with the growing requirements in microchip production.
压电传感器以石英晶体等压电材料为基础，这类材料在受到机械载荷时会产生电荷。

借助压电传感器优化半导体制造

奇石乐的动态力测量解决方案依托压电传感器技术，可提供精确的测量数据。当机械力作用于压电材料时，材料会产生与所受力成正比的电荷，通过测量该电荷即可实现力的精准检测，测量范围覆盖 0.1 牛至 100 千牛。

压电传感器在半导体制造中的应用优势：

  • 精准可靠：测量结果精确、过程可重复
  • 高灵敏度：可检测微小力值变化
  • 坚固耐用：可全天候不间断，稳定运行
  • 数字化兼容：适配现代以太网网络
  • 合规标准：可在洁净室、真空、磁场等环境中工作，且符合行业标准

压电传感器能够满足半导体行业的严苛要求，为生产过程提供可靠的测量解决方案。而优化半导体生产工艺的关键，在于从项目初期就与动态力测量领域的专家合作。如果您对压电测量技术尚不熟悉，我们很乐意协助您进行测量链的选型和集成，并提供专业的配套服务。

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