随着微型化进程推进、新材料引入以及组装与封装技术发展,半导体制造日趋复杂。
提升半导体制造水平

通过动态力、压力及加速度测量
半导体制造面临哪些挑战?
微型化加剧敏感性
更小几何尺寸使器件对机械应力和微振动的敏感度提升,而这些因素在标准检测工具下难以显现。
3D封装增加复杂性
先进封装与芯片堆叠引入了多轴机械载荷,静态传感器无法对其进行表征。
应力事件发生在毫秒级
影响良率的关键机械事件发生于毫秒之间,远低于传统检测的捕捉速率。
终检发现过晚
光学与电学检测常在附加值已形成后发现缺陷——报废不可避免。
奇石乐测量解决方案如何应对半导体制造挑战
动态力、压力及加速度测量至关重要,因为许多影响良率的机械应力事件发生在毫秒级,无法通过静态或终检方法检测。压电测量技术可实现高分辨率监控与控制——无论尺度多微小。
通过实时呈现物理动态过程,奇石乐助力半导体制造商实现:
更高良率,更低报废
在线工艺偏差在扩散前即被捕获——步步守护产品质量。
闭环下压力控制
实时力反馈实现微秒级主动工艺校正,达成更严苛公差。
更快设备认证
全流程透明度显著缩短新设备、新工艺节点及先进封装工艺的研发周期。
微振动检测
高频加速度计捕捉设备诱发振动,避免其削弱键合强度与光刻精度。
全流程可追溯性
每起工艺事件均被打时间戳并与单件产品关联,实现完整批次追溯与审计就绪。
长期运行稳定性
压电技术在热循环、真空及洁净室环境下始终保持校准稳定性。
精选案例:优化半导体制造良率与质量
了解奇石乐如何支持半导体制造商应对当下生产挑战。
奇石乐支持完整半导体制造链
从晶圆制造至最终测量,奇石乐为各关键阶段提供完整测量链。
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Data recording, insulation testing and quality assurance – the easy way
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