提升半导体制造水平

奇石乐面向半导体制造的测量解决方案

通过动态力、压力及加速度测量

随着微型化进程推进、新材料引入以及组装与封装技术发展,半导体制造日趋复杂。

半导体制造面临哪些挑战?

微型化加剧敏感性

更小几何尺寸使器件对机械应力和微振动的敏感度提升,而这些因素在标准检测工具下难以显现。

3D封装增加复杂性

先进封装与芯片堆叠引入了多轴机械载荷,静态传感器无法对其进行表征。

应力事件发生在毫秒级

影响良率的关键机械事件发生于毫秒之间,远低于传统检测的捕捉速率。

终检发现过晚

光学与电学检测常在附加值已形成后发现缺陷——报废不可避免。

奇石乐测量解决方案如何应对半导体制造挑战

动态力、压力及加速度测量至关重要,因为许多影响良率的机械应力事件发生在毫秒级,无法通过静态或终检方法检测。压电测量技术可实现高分辨率监控与控制——无论尺度多微小。

通过实时呈现物理动态过程,奇石乐助力半导体制造商实现:

更高良率,更低报废

在线工艺偏差在扩散前即被捕获——步步守护产品质量。

闭环下压力控制

实时力反馈实现微秒级主动工艺校正,达成更严苛公差。

更快设备认证

全流程透明度显著缩短新设备、新工艺节点及先进封装工艺的研发周期。

微振动检测

高频加速度计捕捉设备诱发振动,避免其削弱键合强度与光刻精度。

全流程可追溯性

每起工艺事件均被打时间戳并与单件产品关联,实现完整批次追溯与审计就绪。

长期运行稳定性

压电技术在热循环、真空及洁净室环境下始终保持校准稳定性。

 

精选案例:优化半导体制造良率与质量

了解奇石乐如何支持半导体制造商应对当下生产挑战。

 

奇石乐支持完整半导体制造链

从晶圆制造至最终测量,奇石乐为各关键阶段提供完整测量链。

传感器产品组合

信号调理与数据采集

力控直线运动

视觉检测

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