Mesure des forces pour la fabrication des semi-conducteurs

La fabrication de semi-conducteurs devient de plus en plus complexe et difficile. Les fabricants d'aujourd'hui doivent s'appuyer sur un contrôle efficace des processus - mais les méthodes de mesure conventionnelles ne peuvent plus à elles seules garantir les normes de qualité requises.

C'est pourquoi la mesure de la force apparaît comme un facteur critique dans de nombreux processus de production en amont et en aval : meulage, découpage, polissage, CMP, manipulation des plaquettes, triage des matrices, collage des fils, flip-chip, moulage et encapsulation, manipulation pick-and-place, tests - et bien d'autres encore.

La technologie de mesure piézoélectrique de Kistler permet de surveiller et de contrôler à haute résolution les forces appliquées au cours des processus de fabrication des semi-conducteurs - aussi petites soient-elles.

La métrologie conventionnelle peut être incapable d'accéder à la force, en tant que grandeur physique susceptible de provoquer la défaillance d'un appareil - mais la mesure de la force basée sur la technologie piézoélectrique "rend l'invisible visible".
La visibilité des processus basée sur la technologie de mesure dynamique de la force offre des avantages impressionnants à l'industrie de la fabrication des semi-conducteurs

• Détection précoce des écarts de contrainte mécanique
• Précision de la force descendante grâce à un contrôle en boucle fermée
• Traçabilité des produits et optimisation des processus
• Amélioration des performances de la machine
• Réduction des coûts de qualité

En plus d'une technologie de mesure soutenue par des décennies d'expérience, les clients de Kistler bénéficient d'un autre avantage clé : une source unique pour l'ensemble de la chaîne de mesure. Notre portefeuille comprend tout, depuis la technologie des capteurs de pointe et les unités d'acquisition de données avancées jusqu'au matériel et aux logiciels pour l'analyse précise des données et la visualisation des résultats de mesure. Voici trois exemples de chaînes de mesure dotées d'une technologie de mesure de la force dynamique - et dont tous les composants sont disponibles chez Kistler, le fournisseur unique.

Le capteur piézoélectrique mesure la force. L'amplificateur de charge industriel convertit ensuite la charge en un signal électrique égal à la force du processus mesurée. Enfin, le signal est transmis à l'automate programmable ou au PC industriel situé à l'extrémité de la chaîne de mesure.

Avantages de la chaîne de mesure

• Contrôle du processus : contrôle précis en boucle fermée
• Surveillance du processus : corrélation plus directe avec les paramètres de qualité du produit
• Traçabilité du processus : les données servent de base à la documentation et à l'optimisation du processus.

Le capteur piézoélectrique mesure la force. Grâce au système de surveillance des processus maXYmos, les utilisateurs peuvent vérifier et évaluer la qualité de chaque étape de production individuelle à l'aide d'une courbe force/temps ou d'une courbe de déplacement. L'avantage majeur de cette chaîne de mesure : chaque étape de production peut être vérifiée et visualisée pour déterminer si la pièce est bonne ou mauvaise.

Avantages de la chaîne de mesure

• Contrôle du processus : contrôle précis en boucle fermée
• Surveillance du processus : corrélation plus directe avec les paramètres de qualité du produit 
• Traçabilité du processus : les données servent de base à la documentation et à l'optimisation du processus

Dans cette chaîne de mesure, la force est mesurée par un capteur piézoélectrique et un amplificateur de charge de laboratoire convertit ensuite le signal de charge du capteur en une tension de sortie proportionnelle. L'amplificateur de charge de laboratoire se caractérise par une plage de charge et de fréquence extrêmement large ainsi que par des performances exceptionnelles en matière de bruit, ce qui fait de cette chaîne de mesure un choix idéal pour effectuer des tâches de recherche et de développement.

Avantages de la chaîne de mesure

• Contrôle du processus : contrôle précis en boucle fermée
• Surveillance du processus : corrélation plus directe avec les paramètres de qualité du produit 
• Traçabilité du processus : données servant de base à la documentation et à l'optimisation du processus.

Nos experts se feront un plaisir de te conseiller sur toute application spécifique ou de te suggérer le choix optimal de produits pour ta chaîne de mesure.