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  奇石乐中国




压阻技术

Silicon chip with diffused resistors

奇石乐压阻式传感器用于测量气体和液体的压力以及纯静态压力测量. 即使在最恶劣的条件下也能获得精确、可重复的测量结果.

压阻效应这一术语的含义是由于压力使电阻值发生改变. 在压阻测量时, 单晶硅的弹性膜片在压力作用下发生曲变. 半导体电阻元件组成的惠斯顿电桥被扩散在膜片中. 由于电桥在压力作用下失去平衡, 产生成比例的电压信号, .

集成电路技术使非常小的电阻电路和有源元件集成在硅片上, 硅片还可以设计成如压力膜片一样. 与传统的金属应变片技术相比, 这项技术的主要优点是高灵敏、紧凑和高固有频率.  

硅压阻测量元件具有很好的静态测量特点. 硅是一种单晶体, 能保持弹性直至断裂点, 不能承受任何塑性变形. 因此, 硅元件是非常稳定的, 其性能即使经过很长时间也不变化. 它们的动态特性也很好. 由于尺寸小, 硅元件的固有频率很高. 根据压力范围不同(膜片厚度), 固有频率为15- 200 kHz.

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