 Piezoresistive Sensoren von Kistler kommen zum Einsatz bei der Druckmessung von Gasen, Flüssigkeiten und viskosen Medien sowie bei echt-statischen Messungen. Die Resultate sind auch unter widrigsten Bedingungen präzis und reproduzierbar. Der Begriff "piezoresistiv" sagt aus, dass durch Druck ein elektrischer Widerstandswert verändert wird. Und so funktioniert ein piezoresistiver Sensor: Eine elastische Membran aus einkristallinem Silizium wird unter Druck durchgebogen. In die Membran ist eine Wheatstone-Messbrücke aus halbleitenden Widerstandselementen eindiffundiert. Diese wird proportional zum einwirkenden Druck verstimmt und erzeugt so eine Spannung welche ebenfalls proportional zum einwirkenden Druck ist. Diese Spannung wird schliesslich als das eigentliche Messsignal verwendet und dient zur finalen Visualisierung des gemessenen Druckes. Die integrierte Schaltungstechnik erlaubt, kleinste Widerstandsnetzwerke sowie aktive Elemente auf dem Siliziumchip zu integrieren, welcher gleichzeitig als Druckmembran strukturiert werden kann. Eine grosse Empfindlichkeit, minimale Abmessungen sowie eine hohe Eigenfrequenz sind so die Hauptvorteile dieser Technologie gegenüber Dünnfilmsensoren oder Dehnungsmessstreifen (DMS). Piezoresistive Messzellen aus Silizium verfügen über ein ausgezeichnetes statisches Verhalten. Silizium ist ein Einkristall und behält seine elastischen Eigenschaften bis zur Bruchgrenze; plastische Deformationen treten nicht auf. Siliziumzellen sind deshalb sehr stabil und verändern ihre Eigenschaften über lange Zeit nicht. Das dynamische Verhalten ist ebenfalls ausgezeichnet. Infolge der kleinen Abmessungen der Siliziumzellen ist die Eigenfrequenz sehr hoch; je nach Druckbereich (Membrandicke) beträgt sie zwischen 15 und 200 kHz. zurück zu Technologien
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